青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

真空鍍膜機生產廠家為您介紹真空鍍膜機特點、用途以及工作原理

2021-08-16 08:29:53

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真空鍍膜機生產廠家為您介紹真空鍍膜機特點、用途以及工作原理



真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,真空鍍膜有很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。應用較多的是蒸發和濺射兩種。蒸發鍍膜和磁探濺射鍍膜等真空鍍膜機的特點如下:

一、對于蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。

1、厚度均勻性主要取決于:A.基片材料與靶材的晶格匹配程度;B.基片表面溫度;C.蒸發功率、速率;D.真空度;E.鍍膜時間、厚度大小。

2、組分均勻性:蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發鍍膜的組分均勻性不好。

3、晶向均勻性:1.晶格匹配度2.基片溫度3.蒸發速率二.濺射類鍍膜可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經歷成膜過程,最終形成薄膜。

4、成膜溫度低。鋼鐵行業中的熱鍍鋅鍍膜溫度一般是400℃~500℃,化學鍍膜溫度更高達1000℃以上。這樣高的溫度很容易引起被鍍件的變形、變質,而真空鍍膜的溫度低,可以降到常溫,避免了常規鍍膜工藝的弊端。

5、蒸發源選擇自由度大??蛇x擇的鍍膜材料多而不受材料熔點限制,可鍍種類眾多的金屬氮化膜,金屬氧化膜和金屬炭化物及各種復合膜。

6、不使用有害氣體、液體,對環境無不利影響。在當前越來越重視環保的大趨勢下,這點極其可貴。

7、帶鋼鍍膜質量好。能獲得均勻、平滑且極薄的鍍膜,鍍膜純度高,耐蝕性和附著力好。不存在熱鍍鋅中的漏鍍點、鋅浪、鋅花等問題。

8、工藝靈活,改變品種方便??慑儐蚊?、雙面和單層、多層及混合層。鍍膜厚度易于控制。

總之,真空鍍膜機帶鋼真空鍍膜是一個集冶金、真空、化學、物理等學科于一體的高新技術,其產品具有高附加值,既有帶鋼的強度和廉價的特點,又有鍍膜后的多功能,多品種,高質量的優點,是極具潛力的新型帶鋼材料的研發方向。

真空鍍膜機主要用途:


現有的真空鍍膜機,主要用于一些放氣量較少的普通玻璃上鍍膜,由于大面積有機玻璃放氣量較大,熱變形溫度低,剛性低,因此現有的真空鍍膜機無法鍍制大面積有機玻璃?,F有的鍍膜機蒸發源間呈正方形分布,這樣鍍出的膜層均勻性差,無法保證大面積有機玻璃在鍍制過程中不變形。為了克服現有技術之不足,提供一種真空鍍膜系統,本系統由真空鍍膜系統和真空手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發鍍膜與真空手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。真空鍍膜系統用途:主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體制備等實驗研究與應用。


真空鍍膜機的工作原理:


真空鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的真空設備,一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專業從事真空鍍膜設備的研發與生產擁有經驗豐富的技術團隊及優質的售后服務隊伍為您解決設備在使用過程中遇到的任何問題。下面,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理。一、真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼" target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。二、輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

作者: 青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

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