青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

光學鍍膜機維護與保養(上)

2021-07-10 17:07:07

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光學鍍膜機維護與保養(上)



光學鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。光學鍍膜設備工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度,材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大,蒸發出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。

  光學鍍膜機維護與保養主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。

  一、電子槍安裝與維護

  電子槍蒸發源控制系統是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅動電源、蒸發源等組成一個電子槍控制電柜。

  電子槍控制電柜內含有高壓,在工作前保障柜門各個聯鎖裝置正常工作,非有經驗人員不得打開電柜門,電子槍在工作時不得打開電柜門,整個電柜有良好的接地并與機臺接地連接。

  電子槍蒸發源安裝在真空室底板上,與底板有良好的接地成效,安裝蒸發源使用不銹鋼螺絲來固定,周邊200mm以內不得有導磁的物體,否則會影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不好。電子槍檔板應盡量裝在蒸發源坩堝的中間上30mm處,以不影響電子束的發射為好。

  電子槍蒸發源是一個精密機械加工體,在工作時保障有良好的冷卻水,如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。

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  電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行,其發生的故障有90%同電子槍槍頭有關。

  電子槍槍頭有使用一段時間后,會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。

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  拆坩堝之前,請先關掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內的水分盡可能吹干凈。

  蒸發源裝卸順序:

  1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩堝傳動連接座、聯軸器。4.擰落蒸發源四個固定螺絲。5.把蒸發源搬運到一個穩定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個螺絲,取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發源反轉過來倒置,用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉動四個螺絲10.抬起蒸發源,取下坩堝 11.把坩堝倒置,擰下坩堝底蓋的八個螺絲,清洗干凈里面的污垢,檢查是否需要近密封圈。12.擰下導水管的一個螺絲13.擰下坩堝轉動機構與坩堝蓋板連接的四個螺絲 14.撥出坩堝轉動軸,檢查轉動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。

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  導磁板及永磁鐵是不需要經常拆卸維護,如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實,請不要使用硬尖的東西撬動,否則有可能會造成損壞。

  二、光學鍍膜機光路的檢修與維護

  光路調整的先決條件是:直流穩定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學膜厚儀及各電纜的完好和正確接入。光電轉換放大器、光學膜厚測量儀的接地點,單獨歸至主機接點牢接地。


作者: 青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

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